■ 問(wèn):怎樣的硅料分選結(jié)果才是符合標(biāo)準(zhǔn)的硅料分選結(jié)果?
答:主要從外觀、型號(hào)、電阻率(重?fù)剑?、雜質(zhì)、包裝這幾個(gè)方面去看:
> 外觀:顏色均勻(色澤無(wú)大反差),無(wú)顏色片、氧化片、白霧片、金屬線片、圖形片(包括印刷圖形、光刻圖形)、無(wú)粘結(jié)片、無(wú)雜質(zhì)沾污。外觀不合格量不能大于總重的 0.1 ‰。
> 導(dǎo)電類型:標(biāo)明要與硅片型號(hào)一致,偏差量不能大于總重的 5% 。
> 電阻率
> 基本要求: P 型大于 0.5 Ω .cm 或 1.0 Ω .cm; N 型平均大于 3 Ω .cm 。
> 標(biāo)明電阻的上下限偏差分別不能大于上下限的 25% 。不合格量不能大于總重的 0.1% 。
> N 型重?fù)狡娮杪试冢?9 ~ 0.9 )× 10 -1 Ω .cm 的總重量應(yīng)小于 0.1 ‰ .
> 原料總中含有 N 型重?fù)狡娮杪实扔诨蛐∮?9 × 10 -2 Ω .cm 應(yīng)視為廢品 .
> P 型重?fù)狡娮杪试冢?1 ~ 0.8 )× 10 -1 Ω .cm 的總重量應(yīng)小于 3 ‰
> P 型重?fù)狡娮杪试冢?8 ~ 0.9 )× 10 -2 Ω .cm 的總重量應(yīng)小于 0.5 ‰
> 原料中含有 P 型重?fù)狡娮杪蕯?shù)量級(jí)等于或小于 9 × 10 -3 Ω .cm 應(yīng)視為廢品 .
> 企業(yè)可以根據(jù)自身產(chǎn)品需要進(jìn)行調(diào)整。
> 雜質(zhì):不能有炭粒、膠條等可見雜質(zhì)。如有則視為廢品。
> 包裝:包裝袋兩層,無(wú)漏洞。標(biāo)明質(zhì)量偏差小于± 5g 。
■ 問(wèn): 選料作業(yè)主要步驟有哪些?
答:主要步驟包括:
> 選料準(zhǔn)備,分選人員在分選工作前穿好工作服,佩帶工作牌,戴上一次性絕緣手套,并在一次性絕緣手套外戴上尼龍手套。
> 準(zhǔn)備好硅料檢驗(yàn)儀器 HS-3FCII 硅料分選全能王
> 按規(guī)定擺放塑料盒,盒子上標(biāo)有電阻率的范圍。
> 班組長(zhǎng)領(lǐng)取所需的物料。
> 生產(chǎn)線上不準(zhǔn)放置任何與生產(chǎn)無(wú)關(guān)的物品。
> 分類, 將硅料中的石英、石墨、氧化硅料、多晶挑選出來(lái),分別放入指定的盒子中。帶有石英、石墨的硅料用榔頭將石英、石墨敲掉。
> 打磨 , 將分選好的硅料進(jìn)行打磨,盡量選在光滑面(保持長(zhǎng) 1 ㎝,寬 3 ㎝左右)。打磨時(shí)應(yīng)選在硅料的中間部位,以便準(zhǔn)確測(cè)其電阻率。
> 測(cè)型號(hào),用 全能王 HS-3FCII 三探針測(cè) 型號(hào),分為 N 型、 P 型、混合型三種。有些廠家也將混合型歸入 N 型中,把 P 、 N 型分別放入不同的塑料盒中。測(cè)型號(hào)時(shí),對(duì)于大料要多測(cè)幾個(gè)點(diǎn),以確保型號(hào)的準(zhǔn)確。
> 測(cè)電阻率,用 硅料分選全能王 HS-3FCII 四探針 測(cè)量電阻率,鑷子測(cè)重?fù)?。測(cè)時(shí)四探針同時(shí)著面,全部壓入。電阻率大于等于 0.5 Ω·㎝為合格品,電阻率小于 0.5 Ω·㎝為不合格品,即為重?fù)剑?P 型電阻率分為 0.1-0.2 , 0.2-0.5 , 0.5-2.7 , 2.7-6 , 6-13 ,≥ 13 共 6 種, N 型電阻率分為 0.1-0.2 , 0.2-0.5 , 0.5-1 , 1-5 ,≥ 5 共 5 種。(不同廠家可根據(jù)拉制產(chǎn)品要求進(jìn)行分擋)
> 抽檢,經(jīng)過(guò)分選硅料要進(jìn)行抽檢,抽檢率為 20 %。被抽檢的袋中若發(fā)現(xiàn)有一塊重?fù)?,即屬于不合格品,則袋中剩下的部分要進(jìn)行返工,再檢測(cè),直至合格。
> 稱重、裝袋,在袋上注明種類、極性、電阻率范圍、重量(每袋重量保持一致)。標(biāo)識(shí)要清晰。
■ 問(wèn): 如何操作才能達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的硅料分選檢驗(yàn)結(jié)果?
答:檢驗(yàn)方法
項(xiàng)目 |
檢驗(yàn)方法 |
外觀 |
目測(cè)外觀,將不合格品揀出。在用天平稱重計(jì)算不合格產(chǎn)品。 |
導(dǎo)電類型 |
用硅料分選全能王 HS-3FCII 三探針測(cè)型號(hào),再用天平沉重計(jì)算不合格量。 |
電阻率 |
用硅料分選全能王 HS-3FCII 四探針測(cè)電阻,鑷子測(cè)重?fù)?,再用天平稱重計(jì)算不合格量。 |
雜質(zhì) |
目測(cè)。 |
包裝 |
目測(cè)有無(wú)漏洞,再用天平稱重。 |
■ 問(wèn): 硅料檢驗(yàn)及抽檢的有哪些規(guī)則和原則可以遵循?
答: 主要在檢測(cè)類別和檢驗(yàn)規(guī)則兩方面著手:
> 檢驗(yàn)類別
檢驗(yàn)類別 |
項(xiàng)目名稱 |
全數(shù)檢驗(yàn) |
外觀、包裝。 |
抽檢 |
導(dǎo)電類型、電阻率、雜質(zhì)。 |
> 抽檢規(guī)則
項(xiàng)目 |
規(guī)則 |
抽檢周期 |
少于 300 公斤 每批料抽檢一次;大于 300 公斤 每 300 公斤 抽檢一次。 |
抽檢方法 |
隨機(jī)從交驗(yàn)品中抽取,每次抽取 3 袋。 |
結(jié)果判定原則 |
要求合格率達(dá)到 100% 后方可辦理產(chǎn)成品入庫(kù)手續(xù)。 |
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