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    多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有極高的精確度和準確度。



產(chǎn)品特點：

■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片

■ 可以測量拋光片，精確度和準確度極高

■ 可以測量粗糙表面的“絨片”

■ 適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量

■ 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進行測量和評估，提高測量精度

■ 配置有高穩(wěn)定度補償器，提供最小的漂移值和最小的測量誤差

■ 配置有高精度的自動光學對準顯微鏡

■ 可進行20°－90°范圍內(nèi)的多角度測量



測量特點：

■ 非破環(huán)性檢測

■ 樣品準直簡單方便

■ 測量速度快

■ 可變?nèi)肷浣欠秶鷮?br />
■ 絕對測量

■ 軟件分析功能強



技術(shù)指標：

■ 光源：He-Ne激光器

■ 光斑直徑：1-2mm

■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步

■ 精度：0.002°~ 0.02°

■ 膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si

■ 折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si

■ 激光光斑：直徑1mm

■ 激光波長632.8 nm




典型客戶：

美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導體客戶。
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