產(chǎn)品介紹:
我公司的經(jīng)銷的美國(guó)進(jìn)口硅材料氧碳含量測(cè)試儀器,所測(cè)硅料硅棒硅片氧、碳含量自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確,可靠性高,穩(wěn)定性好,一致性佳,ASTM 線性度對(duì) 0.0 % T 的偏離小于 0.07 % T,是全球公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)的氧碳含量測(cè)試儀器。同時(shí)功能強(qiáng)大,應(yīng)用深度廣,還可以進(jìn)行電池片及半導(dǎo)體進(jìn)行膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,F(xiàn)SG分析,SiN/SiON分析。
■為什么需要測(cè)試氧碳含量?
氧碳含量指標(biāo)直接關(guān)系到電池片的效率和碎片率,所以成為很多電池片廠商采購(gòu)硅棒硅片時(shí)的重要標(biāo)準(zhǔn)。硅中氧含量越高,則電池片的轉(zhuǎn)換效率就越低;碳含量越高,則應(yīng)力越大,越容易碎片,計(jì)算方法如下:
■怎么測(cè)量氧碳含量?
對(duì)于硅棒,一般頭尾部切出兩片(掰成小方片)進(jìn)行檢測(cè)。對(duì)于硅片,一般進(jìn)行抽測(cè)。對(duì)于氧碳含量測(cè)試儀,樣品倉(cāng)及相關(guān)地方都應(yīng)安放干燥袋,以保證干燥度。樣品倉(cāng)在檢測(cè)過(guò)程中需要密閉處理,以保證真空度受空氣氧碳影響小。
產(chǎn)品特點(diǎn):
■ 硅中氧碳含量測(cè)試分析系統(tǒng)是高端研究型硅料雜質(zhì)含量?jī)x器,該儀器建立在一個(gè)共同的光學(xué)和電子平臺(tái)上,達(dá)到儀器性能和應(yīng)用技術(shù)的最高水準(zhǔn)。
■ 硅中氧碳含量測(cè)試分析系統(tǒng)為完整的數(shù)據(jù)采集、處理過(guò)程提供了功能強(qiáng)大的、與Windows兼容的基礎(chǔ)系統(tǒng)軟件。
■ 基礎(chǔ)系統(tǒng)軟件包含了最廣泛的、友好的在線幫助系統(tǒng),該系統(tǒng)不僅指導(dǎo)如何操作軟件,還提供了從基本原理、光譜解析到最優(yōu)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)等一系列專家?guī)椭δ堋?/span>
■ 雜質(zhì)分析軟件功能強(qiáng)大,不僅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確的測(cè)量,還可以進(jìn)行電池片及半導(dǎo)體膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,F(xiàn)SG分析,SiN/SiON分析
■ 測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定性好,一致性佳。熱穩(wěn)定性極高的整體塊狀反射鏡消除了傳統(tǒng)單片反射鏡螺絲固定帶來(lái)的鏡片容易變形、螺絲容易松動(dòng)、需要人工調(diào)整光路的弊端,具有極高的重復(fù)性,甚至是儀器間的一致性。精密的機(jī)械加工確保每次掃描的高度再現(xiàn),徹底消除儀器給實(shí)驗(yàn)結(jié)果帶來(lái)偏差。
■ 制樣簡(jiǎn)便、智能操作。
■ 功能強(qiáng)大,還可以進(jìn)行膜厚分析,BPSG分析,PSG分析,F(xiàn)SG分析,SiN/SiON分析。
■ 自動(dòng)識(shí)別、自動(dòng)性能測(cè)試、自動(dòng)參數(shù)設(shè)定、永久精確定位校準(zhǔn)等特色提高了應(yīng)用實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性,完全消除人為誤差。
■ 智能光學(xué)臺(tái)的所有元件均采用智能化預(yù)準(zhǔn)直對(duì)針定位,“即插即用”設(shè)計(jì),分束器、檢測(cè)器及智能附件一旦插入系統(tǒng),智能系統(tǒng)立刻自動(dòng)識(shí)別,自動(dòng)更新參數(shù),自動(dòng)優(yōu)化無(wú)需調(diào)整。完全拋棄了老式螺釘螺母,出廠前激光定位的方法,克服了由螺絲彈簧控制鏡面角度的不穩(wěn)定性。
■ 智能濕度探測(cè)減輕了操作人員對(duì)儀器維護(hù)的工作量,將自動(dòng)提醒更換干燥劑,解決紅外使用過(guò)程中最大的隱患。
■ 在線智能診斷:連續(xù)檢測(cè)每一個(gè)光學(xué)元件和電子元件的參數(shù),隨時(shí)可以檢測(cè)并預(yù)知光譜儀的故障,并提出解決方案,增強(qiáng)用戶的自我維護(hù)能力。
■ 光學(xué)臺(tái)采用美國(guó)宇航專利密封膠條的整體密封干燥設(shè)計(jì),減少了光路中的密封窗片,提高了光的傳輸效率,且防潮效果極佳。
■ 光學(xué)臺(tái)采用整體鑄模形式,加上高精度的“對(duì)針定位”固定光學(xué)元件,達(dá)到了超高精度的重復(fù)性,大大增加了儀器的穩(wěn)定性。徹底解決了傳統(tǒng)光學(xué)結(jié)構(gòu)不易維護(hù)的問(wèn)題,未入門用戶即可自行安裝、更換光學(xué)元件。
■ 現(xiàn)代最新的計(jì)算機(jī)技術(shù)同步的最新的USB 2.0 通訊接口,提高了數(shù)據(jù)傳輸速率。
■ 專利的無(wú)縫不銹鋼設(shè)計(jì)的液氮冷卻檢測(cè)器,液氮保持時(shí)間長(zhǎng)達(dá)18小時(shí),屬業(yè)內(nèi)第一。
■ 最新ETC EverGloTM光源,紅外光源能量穩(wěn)定輸出,確保光源整個(gè)壽命中均可保證性能一致,從而得到穩(wěn)定的高質(zhì)量紅外圖譜;
■ 可通過(guò)“Turbo”模式獲得超出常規(guī)能量25%高能量輸出,用以滿足特殊測(cè)試要求。
■ 電磁懸浮驅(qū)動(dòng)專利干涉儀,成為最新一代高級(jí)研究應(yīng)用所青睞的干涉儀,分辨率最高可達(dá)0.09cm-1。
■ 數(shù)字化連續(xù)動(dòng)態(tài)調(diào)整(D.S.P),速度達(dá)每秒130,000次, 保證瞬時(shí)與長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)的超高穩(wěn)定性,更好的光譜峰形。
■ 品種齊全的各類檢測(cè)器,適用于紫外至遠(yuǎn)紅外的任何光譜范圍或?qū)嶒?yàn)配置要求,并具有最佳的性能。
■ 所有的檢測(cè)器均“即插即用” (Plug and Play),易于更換與使用。
■ 在樣品倉(cāng)蓋開(kāi)啟時(shí),獨(dú)特的智能吹掃系統(tǒng)將自動(dòng)進(jìn)行檢測(cè),增加光學(xué)臺(tái)中吹掃氣體的流量,在連續(xù)測(cè)樣的過(guò)程中以最短的吹掃時(shí)間恢復(fù)到開(kāi)倉(cāng)前的狀態(tài),以確保盡可能迅速而高效地收集數(shù)據(jù)。
■ 精密鑄造的光學(xué)臺(tái)底座配以最少數(shù)量的反射鏡以及最短光程的設(shè)計(jì)。
■ 金剛石加工切削整體合金反射鏡,光路傳輸效率更高于一般金屬鍍層技術(shù)的反射鏡,保證最大光學(xué)效能輸出。
■ 高性能電子系統(tǒng):最新的24位A/D轉(zhuǎn)換器,500KHz的A/D轉(zhuǎn)換速度,真正做到實(shí)時(shí)采集光譜數(shù)據(jù),保證數(shù)據(jù)的真實(shí)性與可靠性。
推薦工作條件:
■ 室內(nèi)環(huán)境溫度15~30℃;相對(duì)濕度(全天候)不超過(guò)60%
■ 室內(nèi)無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)干擾;無(wú)妨礙儀器正常工作的震動(dòng)
■ 室內(nèi)環(huán)境清潔、干燥、沒(méi)有灰塵、無(wú)腐蝕性氣體
■ 氧碳測(cè)試儀是精密光學(xué)儀器,為防止酸、堿及其它腐蝕性氣體、煙霧侵蝕儀器,必須和化學(xué)實(shí)驗(yàn)室分開(kāi);儀器光學(xué)系統(tǒng)對(duì)濕度、溫度要求很高,實(shí)驗(yàn)室應(yīng)安裝空調(diào)及去濕設(shè)備
典型用戶:
錦州陽(yáng)光能源、江蘇天源、峨眉 739 、河北晶龍集團(tuán)、無(wú)錫尚德、天津環(huán)歐等